Karakteristik Struktur dan Listrik Film Tipis GaN yang Ditumbuhkan di atas Substrat Si(111) dengan Metode Plasma Assisted-Metalorganic Chemical Vapor Deposition (PA-MOCVD)

Abstrak: Film tipis galium nitrida (GaN) telah ditumbuhkan di atas substrat Si(111) dengan metode PA-MOCVD menggunakan sumber metalorganik golongan III, trimetilgalium (TMGa) dan radikal nitrogen yang dihasilkan oleh plasma gas nitrogen. Proses penumbuhan dilakukan pada temperatur 675°C dengan tekanan reaktor sekitar 0,4 torr, laju alir gas nitrogen tetap sebesar 90 sccm dan laju alir TMGa bervariasi dari 0,08 – 0,12 sccm. Film polikristal GaN yang ditumbuhkan mempunyai struktur heksagonal dan merupakan semikonduktor tipe-n. Peningkatan laju alir TMGa menyebabkan peningkatan laju penumbuhan film tipis GaN yang terbentuk. Secara umum nilai mobilitas Hall masih rendah akibat adanya pengotor O dan C. Nilai mobilitas tertinggi yang diperoleh hanya sebesar  64,88 cm²/V.s dengan konsentrasi pembawa muatan (elektron) sebesar 5,47 x 10¹⁸ cm^-3.

Kata kunci: PA-MOCVD, TMGa, Film tipis GaN, Struktur kristal, Mobilitas Hall

Penulis: Heri Sutanto, Agus Subagio, Edy Supriyanto, Pepen Arifin, Sukirno, Maman Budiman, Moehamad Barmawi

Kode Jurnal: jpfisikadd060003

Artikel Terkait :

Jp Fisika dd 2006

• Model Sheath Dinamis Tanpa Tumbukan Plasma Multispesies dengan Memperhitungkan Keadaan Muatan Ganda dan Tegangan Realistis
• Penerapan Model Vorteks Gelas Termodifikasi pada Kristal Tunggal Superkonduktor Bi2Sr2CaCu2O8+δ
• Studi Spektral Inframerah pada Ferit Spinel Nanokristal MFe2O4 (M = Ni, Mn dan Zn)
• Tegangan Sisa pada Bahan Model Fotoelastis Epoxi Resin karena Perlakuan Termal
• Pengaruh Luas Kontak pada Kualitas MSM pGaSb
• Matriks Massa Neutrino Berat dari Model Seesaw
• Fabrikasi Dan Karakterisasi Directional Coupler Sebagai Devais Pembagi Daya
• Analisis Directional Coupler Sebagai Pembagi Daya untuk Mode TE
• Identifikasi Struktur Sesar Bawah Permukaan dengan menggunakan Konfigurasi Half-Schlumberger (Head-On) pada Eksplorasi Panasbumi daerah Mataloko
• Analisis Data Magnetisasi Remanen Isotermal dengan Software IRMUNMIX
• Aplikasi Pengolahan Citra Elektrokardiograf dan Jaringan Syaraf Tiruan untuk Identifikasi Penyakit Jantung Koroner
• Model Sheath Dinamis Tanpa Tumbukan Plasma Multispesies Bermuatan Tunggal untuk Studi Aplikasi Proses PIII
• Pengaruh Anti Oksidan Terhadap Kestabilan Sifat Fisis Bahan Polipaduan Polipropilena-Karet Alam: II. Studi Kristalinitas dan Struktur Molekul
• Disain Peredam Suara Berbahan Dasar Sabut Kelapa dan Pengukuran Koefisien Penyerapan Bunyinya
• PENGARUH POLARITAS MEDAN LISTRIK EKSTERNAL DAN SUDUT POLARISASI LASER DIODA UNTUK PENGAMATAN EFEK KERR
• PEMODELAN TOMOGRAFI CROSS-HOLE METODE GEOLISTRIK RESISTIVITAS (Bentuk Anomali Silindris)
• Penentuan Dosis Gamma Pada Fasilitas Iradiasi Reaktor Kartini Setelah Shut Down
• Rekayasa Bahan untuk Meningkatkan Daya Serap Terhadap Gelombang Elektromagnetik dengan Matode Deposisi Menggunakan Lucutan Korona
• KAJIAN AWAL SIFAT OPTIS TAKLINIER BAHAN TRANSPARAN DALAM MEDAN LISTRIK STATIS
• UJI HASIL KINERJA MESIN PENGOLAH FILM OTOMATIS MINI MEDICAL
• STUDI SIFAT ELEKTROOPTIS PADA KACA AKUARIUM, KACA PREPARAT, DAN AKRILIK
• LINIERISASI KELUARAN PENCATU DAYA MENGGUNAKAN KOMPUTER
• PENENTUAN KONSENTRASI AKTIVITAS URANIUM DARI INDUSTRI FOSFAT MENGGUNAKAN DETEKTOR ZnS(Ag)
• Penghitungan Rasio Intensitas Ca (II) 396,8 nm dan Ca (I) 422,6 nm pada Sampel Tasbih Asli dan Imitasi menggunakan Metode Laser Induced Shock wave plasma (LISPS)
• PEMANFAATAN TEMPURUNG KELAPA SEBAGAI BAHAN BAKU ARANG AKTIF DAN APLIKASINYA UNTUK PENJERNIHAN AIR SUMUR DI DESA BELOR KECAMATAN NGARINGAN KABUPATEN GROBOGAN