Sifat Optik Lapisan Tipis In2O3 yang Ditumbuhkan dengan Metode MOCVD

Abstrak: Lapisan tipis In₂O₃ telah ditumbuhkan di atas substrat gelas dengan metode MOCVD menggunakan prekursor metal organic In(TMHD)₃. Parameter penumbuhan yang digunakan adalah: temperatur bubbler untuk menguapkan In(TMHD)₃ 200^oC, tekanan  bubbler 260 Torr, temperatur substrat 300^oC, laju alir gas Ar 50 sccm, laju alir gas O₂ 50 sccm, tekanan total penumbuhan 2x10^-3 Torr, dan waktu penumbuhan 120-180 menit. Tiga jenis lapisan tipis In2O3 dihasilkan yang dibedakan oleh ketebalannya, yaitu 531, 434, dan 404 nm. Sifat optik lapisan diinvestigasi dengan menggunakan alat Spectrophotometry UV-Vis. Diperoleh bahwa transmitansi ketiga lapisan pada rentang panjang gelombang sinar tampak rata-rata di atas 80%. Perbedaan ketebalan lapisan sekitar 127 nm tidak mempengaruhi secara signifikan karakteristik transmisi optiknya. Lebar celah pita energi ketiga lapisan In₂O₃ terentang dari 3,76-3,80 eV. Sementara lebar pita energi Urbach-nya terentang dari 0,20-0,22 eV. Ketiga lapisan tipis In₂O₃ yang tumbuh memiliki karakteristik transisi tidak langsung ke pita terlarang. 

Kata kunci: Sifat optik; Lapisan tipis; In₂O₃; Metal organic; In(TMHD)₃; MOCVD

Penulis: Horasdia Saragih, Hasniah Aliah, Euis Sustini, Albinur Limbong, dan Albert Manggading Hutapea

Kode Jurnal: jpkimiadd100001

Artikel Terkait :

Jp Kimia dd 2010

• UJI PELINDIAN SENYAWA-SENYAWA TEMBAGA DAN TIMAH HITAM SETELAH STABILISASI/SOLIDIFIKASI DENGAN SEMEN PORTLAND MENGGUNAKAN ROTARY AGITATOR
• SIFAT DAYA SERAP AIR DAN STABILITAS PENYERAPAN AIR HIDROGEL POLIMER KOMPOSIT
• PENERAPAN MEMBRAN MIKROFILTRASI PADA PEMURNIAN EKSTRAK KALDU KACANG HIJAU (Phaseolus radiatus L.) SEBAGAI FORTIFIKAN PRODUK MAKANAN
• AKTIVITAS ANTIDIABETES EKTRAK ETIL ASETAT DAUN PANDAN WANGI (Pandanus amaryllifolius Roxb.)
• UJI AKTIVITAS EKSTRAK DAN FRAKSINASI DAUN BRUCEA JAVANICA (Merril) SECARA INVITRO
• ISOLATION AND IDENTIFICATION OF 9-METHOXYCANTHIN-6-0NE COMPOUND FROM Eurycoma longifolia ROOTS
• PREPARATION OF MgO-CeO2 MIXED OXIDE WITH IONIC LIQUID AS CATALYST FOR DIMETHYL CARBONATE SYNTHESIS VIA TRANSESTERIFICATION
• MUNICIPAL ORGANIC WASTE AS SUBSTRATE OF BIOENERGY AND FERTILIZER PRODUCTION
• PEMANFAATAN KITIN I KITOSAN SEBAGAI BAHAN ANTI MIKROBA
• TEKNIK APLIKASI KONSORSIUM BAKTERI ENDOFITIK PENAMBAT N2 ASAL TUMBUHAN EKOSISTEM AIR HITAM KALIMANTAN TENGAH DALAM MENINGKATKAN PERTUMBUHAN DAN PENAMBATAN N2 TANAMAN PADI GOGO
• ISOLASI ENZIM HORSERADISH PEROKSIDASE (HRP) DARI KULTUR SEL DAUN ARMORACIA LAPATIFOLIA DENGAN CARA FRAKSINASI MENGGUNAKAN AMONIUM SULFAT
• ISOLASI DAN IDENTIFIKASI SENYAWA TRITERPENOID DAN ASAM 3-HIDROKSINIKOTINAT DARI EKSTRAK DIKLOROMETANA AKAR Garcinia picrorrhiza Miq
• STUDI POTENSI EKSTRAK BRUCEA JAVANICA SEBAGAI BIOAKTIF ANTIKANKER PAYUDARA TERHADAP SEL T47D
• KARAKT£RISASI SENYAWA AKTIF ANTI BAKTERI MINYAK ATSIRI BUNGA CENGKEH (Syzygium arimaticum)
• KARAKTERISASI FRAKSI AKTIF ANTIBAKTERI EKSTRAK DARI DAUN PEPE (Gymnema reticulatum Br)
• LAJU KOROSI DAN MEKANISME INHIBISI ALUMINIUM MURNI MENGGUNAKAN KALIUM DAN KALSIUM STEARAT
• EKSTRAKSI ZAT WARNA ALAMI CAMPURAN BIJI PINANG, DAUN SIRIH, GAMBIR DAN PENGARUH PENAMBAHAN KMnO4 TERHADAP PEWARNAAN KAYU JENIS ALBASIA
• ISOLASI DAN IDENTIFIKASI SENYAWA GOLONGAN TRITERPENOID DARI EKSTRAK n-EKSANA DAUN KEPUH (Sterculia foetida L.) SERTA UJI AKTIVITAS ANTIRADIKAL BEBAS
• EFEKTIVITAS SISTEM PENGOLAHAN INSTALASI PENGOLAHAN AIR LIMBAH SUWUNG DENPASAR TERHADAP KADAR BOD, COD, DAN AMONIA
• SUBKLONING GEN α-L-ARABINOFURANOSIDASE (abfA) DALAM VEKTOR EKSPRESI pYES2
• BIOSORPSI KROMIUM(VI) PADA SERAT SABUT KELAPA HIJAU (Cocos nucifera)
• AKTIVITAS ANTIJAMUR MINYAK ATSIRI RIMPANG DRINGO (Acorus calamus L.) TERHADAP JAMUR Botryodiplodia theobromae PENYEBAB BUSUK BUAH PISANG
• KANDUNGAN ALUMINIUM DALAM KALENG BEKAS DAN PEMANFAATANNYA DALAM PEMBUATAN TAWAS
• SCREENING FITOKIMIA DAN AKTIVITAS ANTIRADIKAL BEBAS EKSTRAK METANOL DAUN GAHARU (Gyrinops versteegii)
• FRAKSINASI DAN IDENTIFIKASI SENYAWA TANIN PADA DAUN BELIMBING WULUH (Averrhoa bilimbi L.)