Studi Pengaruh Rasio Masukan Sumber V/III Terhadap Distribusi Sb dan Karakteristik Kelistrikan Lapisan Tipis GaAs1-x Sbx yang Ditumbuhkan dengan Teknik MOCVD

Abstrak: Telah dilakukan studi tentang kebergantungan distribusi  Sb  dalam lapisan  GaAs_1-xSb_x dan sifat kelistrikan lapisan GaAs_1-xSb_x yang ditumbuhkan dengan teknik MOCVD menggunakan sumber metalorganik TMGa, TDMAAs dan TDMASb terhadap rasio masukan sumber V/III. Komposisi Sb dalam lapisan GaAs_1-xSb_x ditentukan dengan menggunakan aturan Vegard, berdasarkan pergeseran puncak intensitas difraksi sinar-X. Karakteristik kelistrikan lapisan GaAs_1-xSb_x diinvestigasi melalui pengukuran efek Hall Van der Pauw pada temperatur ruang. Hasil investigasi menunjukkan bahwa komposisi  unsur Sb yang terinkorporasi dalam film GaAs_1-xSb_x sangat ditentukan oleh rasio masukan sumber V/III yang digunakan. Untuk penggunaan rasio masukan sumber V/III yang hampir satu, ternyata nilai koefisien distribusi Sb yang merupakan rasio komposisi Sb dalam lapisan GaAs_1-xSb_x terhadap fraksi masukan uap sumber Sb juga mendekati satu. Koefisien distribusi  Sb menurun  terhadap kenaikan rasio masukan sumber V/III untuk rasio masukan V/III lebih besar dari pada 1. Rentang nilai mobilitas pembawa muatan berkisar antara 200–430 cm²/V.s bergantung pada rasio masukan sumber V/III dan komposisi Sb. Nilai mobilitas pembawa muatan paling tinggi terjadi pada penggunaan rasio masukan sumber V/III  mendekati satu.

Kata kunci: GaAs1-xSbx, MOCVD, Rasio masukan sumber V/III, Komposisi Sb, Karakteristik kelistrikan

Penulis: Andi Suhandi, Pepen Arifin, Maman Budiman, dan Moehamad Barmawi

Kode Jurnal: jpfisikadd070003

Artikel Terkait :

Jp Fisika dd 2007

• Pembuatan Model Laser Nd-YAG Gelombang Kontinyu Daya Rendah
• Efek Aditif 3Al2O3.2SiO2 dan Suhu Sintering terhadap Karakteristik Keramik α-Al2O3
• Implementasi VB 6.0 Pada Face Detection Berbasis image processing untuk Sistem Identikasi
• Studi Dasar Posibilitas Pemanfaatan Bubuk Silika dari Batuan Alam Lokal LAPINDO sebagai Bahan Tambahan Semen
• Pengaruh Silika Halus terhadap Ketahanan Mortar
• Pengaruh Struktur Material Paduan Berbasis Zirkonium terhadap Ketahanan Korosi dalam Larutan HNO3
• Pengembangan Thermal Barrier Coating (TBC) NiCrAl pada Logam Paduan Berbasis Ni untuk Komponen Turbin Gas
• Pengaruh Suhu Pertumbuhan terhadap Laju Penumbuhan Kristal Tunggal Garam Rochelle (KNaC6H6O6.4H2O)
• Evaluasi Perancangan Sensor Fiber Optik Plastik untuk Pengukuran Stress dan Strain
• Pelapisan Thermal Barrier Coating (TBC) NiAl pada Paduan Logam Berbasis Co
• Pemodelan Inversi Data Geolistrik untuk menentukan Struktur Perlapisan Bawah Permukaan Daerah Panasbumi Mataloko
• Pengaplikasian Optimasi Neural Network oleh Algoritma Genetika pada Pendeteksian Kelainan Otak Stroke Iskemik sebagai Media Pembelajaran Dokter Muda
• Pengaruh Variasi Sludge-serbuk Kayu sebagai Penguat terhadap Sifat Mekanik Material Komposit Matriks Urea-Formaldehida
• Pengaruh Penambahan LiClO4 pada Pembuatan Komposit Anoda Grat Bermatrik Polimer
• Preparasi dan Karakterisasi Karbon Aktif Magnetik Nanopori
• Pengaruh Konsentrasi Larutan Terhadap Laju Pertumbuhan Kristal Tunggal Garam Rochelle (KNaC6H6O6.4H2O)
• Spektrum dan Kinetika Keadaan Eksitasi Singlet Karotenoid Neurosporene diukur dengan Spektroskopi Serap Pisah Waktu
• Struktur Kecepatan Gelombang S antara Episenter Gempa Bumi C022801L dan Stasiun Observasi KDAK dan INK melalui Analisis Seismogram
• Analisis Data Gaya Berat dan VLF untuk Penentuan Bidang Patahan Penyebab Semburan Lumpur di Sumur Eksplorasi BJP-1 Porong
• Nanokristalisasi Material Amorf Zr69.5Cu12Ni11Al7.5 antara Temperatur Transisi Glas (Tg) dan Temperatur Kristalisasi (Tx)
• Studi Awal Pembuatan Sistem Sensor Pengukuran Regangan suatu Bahan menggunakan Fiber Optik Plastik Berbasis Data Akuisisi
• Penerapan Skema Modulasi Stabil Pada Penyelesaian Persamaan Diferensial Bernoulli
• Kajian Fisis Radiasi Plasma Terhadap Organ Daun pada Pertumbuhan Awal Tanaman Anggrek Phalaenopsis amabilis
• Penentuan Kandungan Unsur Krom dalam Limbah Tekstil dengan Metode Analisis Pengaktifan Neutron
• Efek Magneto Optis pada Lapisan Tipis (ZnO)