Studi Sifat Termal Prekursor In(TMHD)3 untuk Menumbuhkan Lapisan Tipis In2O3 dengan Teknik MOCVD

Abstrak: Penumbuhan lapisan tipis In2O3 di atas substrat quarzt telah dilakukan dengan teknik MOCVD. Prekursor metal organic yang digunakan adalah In(TMHD)3. Sifat termal bahan In(TMHD)₃ telah diinvestigasi melalui analisis kurva TG-DTA dan analisis spektrum FTIR. Dari hasil  analisis kurva TG-DTA dan spektrum FTIR didapatkan bahwa: (1) serbuk In(TMHD)3 meleleh pada temperatur 175 °C; (2) In(TMHD)₃ mulai menguap pada temperatur 184 °C; (3) In(TMHD)3 mengalami oksidasi parsial di lingkungan Ar/atmosfer pada temperatur 260 °C; (4) disosiasi ligan TMHD dari elemen metal In secara sempurna terjadi pada temperatur 300^oC sampai 400°C. Mengacu kepada hasil-hasil tersebut, maka parameter penumbuhan ditetapkan sebagai berikut: temperatur bubbler In(TMHD)³ (Tb) = 200°C; tekanan di dalam bubbler (Pb) = 260 Torr; laju aliran gas Ar untuk membawa uap In(TMHD)3 = 50 sccm; laju aliran gas O₂ = 50 sccm; dan temperatur substrat = 300°C. Dengan menggunakan interval waktu penumbuhan selama 120 menit, lapisan tipis In₂O₃ tumbuh dengan ketebalan sekitar 0,2 µm. Laju penumbuhan diperoleh sekitar 1,6x10^-3 µm/menit dan tingkat kekasaran permukaan lapisan sekitar 70 nm.

Kata kunci: In₂O₃, Lapisan tipis, Sifat termal, MOCVD

Penulis: Horasdia Saragih, Albinur Limbong, Albert Manggading Hutapea, Hasniah Aliah, dan Euis Sustini

Kode Jurnal: jpkimiadd090003

Artikel Terkait :

Jp Kimia dd 2009

• Sonneratia alba sebagai Sumber Senyawa Antibakteri Potensial
• PRODUKSI SENYAWA BAKTERIOSIN SECARA FERMENTASI MENGGUNAKAN ISOLAT BAL Enterococcus faecium DU55 DARI DANGKE
• Dinamika Akumulasi Kadmium Pada Tanaman Kangkung Darat (Ipomoae reptans Poir)
• Proses Transesterifikasi Biji Minyak Jarak Dengan Bantuan Enzim Lipase Sebagai Penghasil Biodiesel
• Skrining Bioaktivitas Beberapa Bagian Jaringan Tumbuhan Paliasa(Melochia umbellata (Hout) Stapf var. Degrabrata K)
• Selektifitas Transpor Lantanum Dari Mineral Monasit Dengan Teknik Supported Liquid Membrane
• Isolasi, Karakterisasi, dan Uji Bioaktivitas Metabolit Sekunder dari Hydroid Aglaophenia cupressina Lamoureoux Sebagai Bahan Dasar Antimikroba
• PEMEKATAN PROTEIN DALAM SUSU DAN KECAP MENGGUNAKAN MEMBRAN SERAT BERONGGA
• AKTIVITAS ANTIOKSIDAN DAN TOKSISITAS EKSTRAK AIR DAN ETANOL DAUN BENALU (Dendrophthoe pentandra L. Miq) YANG TUMBUH PADA BERBAGAI INANG
• UJI POTENSI AKTIVITAS ANTI KANKER EKSTRAK DAUN PANDAN WANGI (Pandanus amaryllifolius Roxb.) DENGAN METODE BRINE SHRIMP LETHALITY TEST (BSLT)
• PENGARUH PENINGKATAN LIPOFILISITAS PADA SENYAWA ANALOG UK-3A DALAM MENGHAMBAT PERTUMBUHAN SEL KANKER P-388
• ANTI BREAST CANCER ACTIVITY OF ETHYL ACETATE EXTRACT OF FERMENTATION BROTH EMPLOYING ENDOPHYTIC FUNGI TAXUS SUMATRANA ISOLATES
• PRODUCTION, ISOLATION, IMMOBILIZATION AND APPLICATION OF GLUCOAMYLASE FROM RHIZOPUS ORYZAE
• PREPARATION OF IN - HOUSE COCOA FLOUR RMs AND DETERMINATION OF ITS Cd CONTENT BY USING GFAAS
• HOMOGENITAS TARGET DALAM MATRIK PADA ANALISIS RESIDU PESTISIDA KARBAMAT DALAM TOMAT
• THE EFFECTS OF LUPIN (Lupinus angustifolius) AS SOYBEAN SUBSTITUTE AND COAGULANT AGENT TO PROTEIN PRECIPITATION IN TOFU PREPARATION
• ANTI JAMUR HASIL FERMENTASI Streptomyces Isp. 192 PADA MEDIA PATI DAN GLUKOSA
• AKTIVITAS ANTIDIABETES EKSTRAK AIR Coriandrum Sativum PADA MENCIT JANTAN
• AKTIVITAS ANTIOKSIDAN DAN BIOAKTIVITAS IN VITRO EKSTRAK AIR DAN EKSTRAK ETANOL DAUN DAN RANTING BENALU Macrosolen cochinchinensis (Lour.) van Tiegh. PADA INANG NANGKA ( Artocarpus heterophyllus)
• STUDIES ON KINETICS OF DIMETHYL CARBONATE SYNTHESIS BY HOMOGENEOUS TRANSESTERIFICATION
• SIFAT FISIKO KIMIA DAN AKTIVITAS ANTIOKSIDAN MINYAK KELAPA MURNI (VCO) HASIL FERMENTASI RHIZOPUS ORIZAE
• KARBON AKTIF HASIL DEKOMPOSISI TERMAL LIMBAH KERAK CAT BESERTA KARAKTERISASINYA
• PROSES DEKANTASI MINYAK ATSIRI DENGAN VARIASI PLAT INTERCEPTOR DALAM DEKANTER
• ANALISIS BAHAN PENGAWET BENZOAT PADA SAOS TOMAT YANG BEREDAR DI WILAYAH KOTA DENPASAR
• BIOSORPSI ION Cr(III) PADA RUMPUT LAUT Eucheuma Spinosum TERAKTIVASI ASAM SULFAT