Model Sheath Dinamis Tanpa Tumbukan Plasma Multispesies Bermuatan Tunggal untuk Studi Aplikasi Proses PIII
Abstrak: Telah dipelajari
sebuah model sheath dinamis plasma multispesies tanpa tumbukan untuk studi
Plasma Immersion Ion Implantation (PIII). Model ini ditentukan berdasarkan pada
massa efektif yang merupakan fungsi dari komposisi dan massa ion. Massa efektif
ini digunakan untuk menentukan ekspansi sheath dinamis, rapat arus ion implan
total, doses implan dan komponen doses ion implan. Hasil dari model ini
dianalisis dengan menggunakan contoh plasma Ar-He.Model sheath dinamis ini
dapat memberikan kemudahan untuk mengevaluasi proses PIII dan mendapatkan doses
implan yang benar untuk plasma dengan spesies-spesies ion yang berbeda.
Penulis: Yoyok Cahyono
Kode Jurnal: jpfisikadd060033
Artikel Terkait :
Jp Fisika dd 2006
- Model Sheath Dinamis Tanpa Tumbukan Plasma Multispesies dengan Memperhitungkan Keadaan Muatan Ganda dan Tegangan Realistis
- Penerapan Model Vorteks Gelas Termodifikasi pada Kristal Tunggal Superkonduktor Bi2Sr2CaCu2O8+δ
- Studi Spektral Inframerah pada Ferit Spinel Nanokristal MFe2O4 (M = Ni, Mn dan Zn)
- Tegangan Sisa pada Bahan Model Fotoelastis Epoxi Resin karena Perlakuan Termal
- Pengaruh Luas Kontak pada Kualitas MSM pGaSb
- Matriks Massa Neutrino Berat dari Model Seesaw
- Fabrikasi Dan Karakterisasi Directional Coupler Sebagai Devais Pembagi Daya
- Analisis Directional Coupler Sebagai Pembagi Daya untuk Mode TE
- Identifikasi Struktur Sesar Bawah Permukaan dengan menggunakan Konfigurasi Half-Schlumberger (Head-On) pada Eksplorasi Panasbumi daerah Mataloko
- Analisis Data Magnetisasi Remanen Isotermal dengan Software IRMUNMIX
- Aplikasi Pengolahan Citra Elektrokardiograf dan Jaringan Syaraf Tiruan untuk Identifikasi Penyakit Jantung Koroner
- Pengaruh Anti Oksidan Terhadap Kestabilan Sifat Fisis Bahan Polipaduan Polipropilena-Karet Alam: II. Studi Kristalinitas dan Struktur Molekul
- Disain Peredam Suara Berbahan Dasar Sabut Kelapa dan Pengukuran Koefisien Penyerapan Bunyinya
- PENGARUH POLARITAS MEDAN LISTRIK EKSTERNAL DAN SUDUT POLARISASI LASER DIODA UNTUK PENGAMATAN EFEK KERR
- PEMODELAN TOMOGRAFI CROSS-HOLE METODE GEOLISTRIK RESISTIVITAS (Bentuk Anomali Silindris)
- Penentuan Dosis Gamma Pada Fasilitas Iradiasi Reaktor Kartini Setelah Shut Down
- Rekayasa Bahan untuk Meningkatkan Daya Serap Terhadap Gelombang Elektromagnetik dengan Matode Deposisi Menggunakan Lucutan Korona
- KAJIAN AWAL SIFAT OPTIS TAKLINIER BAHAN TRANSPARAN DALAM MEDAN LISTRIK STATIS
- UJI HASIL KINERJA MESIN PENGOLAH FILM OTOMATIS MINI MEDICAL
- STUDI SIFAT ELEKTROOPTIS PADA KACA AKUARIUM, KACA PREPARAT, DAN AKRILIK
- LINIERISASI KELUARAN PENCATU DAYA MENGGUNAKAN KOMPUTER
- PENENTUAN KONSENTRASI AKTIVITAS URANIUM DARI INDUSTRI FOSFAT MENGGUNAKAN DETEKTOR ZnS(Ag)
- Penghitungan Rasio Intensitas Ca (II) 396,8 nm dan Ca (I) 422,6 nm pada Sampel Tasbih Asli dan Imitasi menggunakan Metode Laser Induced Shock wave plasma (LISPS)
- PEMANFAATAN TEMPURUNG KELAPA SEBAGAI BAHAN BAKU ARANG AKTIF DAN APLIKASINYA UNTUK PENJERNIHAN AIR SUMUR DI DESA BELOR KECAMATAN NGARINGAN KABUPATEN GROBOGAN