Penentukan Indeks Bias Lapisan Tipis dengan menggunakan Ellipsometer

Abstrak: Penelitian amorphous silicon film tipis yang pelapisnya dilakukan di atas bahan semi transparan dan non transparan. Dengan menggunakan Ellipsometer menghasilkan pengukuran yang sangat akurat, dan dengan menggunakan komputer program hasil percobaan diolah serta dibandingkan antara pengukuran dilakukan sebelumnya.
Kata Kunci: Lapisan tipis, indeks bias, ellipsometer
Penulis: Satwiko S
Kode Jurnal: jpfisikadd090057

Artikel Terkait :

Jp Fisika dd 2009