Penumbuhan Silikon Nanowire dengan Nanokatalis Perak menggunakan Metode HWC-In Plasma-VHF-PECVD melalui Optimasi Tekanan

Abstrak: Penelitian mengenai penumbuhan silikon nanowire (SiNW) telah dilakukan dengan mengunakan metode Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD). Katalis yang digunakan yaitu logam perak (Ag). Penggunaan nano katalis perak dalam penelitian ini dibatasi seberat 0,025 gram. Nanokatalis perak tersebut dideposisi pada substrat gelas dengan cara evaporasi dalam keadaan vakum untuk membentuk lapisan tipis Ag pada substrat. Hasil penumbuhan nanokatalis dilakukan karakterisasi SEM dan EDX dengan hasil logam perak yang di-annealing selama satu jam menghasilkan pulau-pulau Ag berukuran dominan 70-80 nm. Ag yang di-annealing selama satu jam kemudian digunakan untuk penumbuhan silikon nanowire. Sebagai gas carier digunakan gas silant SiH4 dengan precursor silikon dengan kecepatan alir 70 sccm dan daya rf 8 watt. Variasi optimasi dilakukan pada parameter tekanan 100, 200, 300 dan 400 mTorr. SEM dan EDX dilakukan untuk mengkarakterisasi silikon nanowire. Dari hasil SEM dan EDX, tekanan deposisi 100 mTorr dapat menghasilkan silikon nanowire dengan rasio penumbuhan yang tinggi. Diameter silikon nanowire diperoleh 70-120 nm dan panjang silikon nanowire 200-5000 nm.

KATA KUNCI: Ag, SiNW, HWC-in plasma-VHF-PECVD

Penulis: Diky Anggoro dan Toto Winata

Kode Jurnal: jpfisikadd140130

Artikel Terkait :

Jp Fisika dd 2014

• PENGGUNAAN MODEL PEMBELAJARAN AKTIF TIPE KELOMPOK DISKUSI DALAM MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA SISWA KELAS X SMA LABSCHOOL UNTAD PALU
• PENERAPAN MODEL PEMBELAJARAN NOVICK UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA SISWA KELAS X SMA NEGERI 1 SOJOL
• PENERAPAN MODEL PEMBELAJARAN CHILDREN LEARNING IN SCIENCE (CLIS) UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA PADA SISWA KELAS XI SMA NEGERI 8 PALU
• PERBANDINGAN HASIL BELAJAR FISIKA ANTARA MODEL PEMBELAJARAN SELF REGULATED LEARNING (SRL) DENGAN MODEL PEMBELAJARAN PROBLEM BASED LEARNING (PBL) PADA SISWA KELAS XI SMA NEGERI 4 PALU
• PENERAPAN PENDEKATAN SAVI UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA PADA SISWA KELAS XI SMA NEGERI 8 PALU
• Analisis Kemampuan Siswa Mengubah Representasi dalam Physics Problem Solving Pada Siswa SMA Kelas X
• PENGARUH PEMBELAJARAN INKUIRI ROLE APPROACH TERHADAP HASIL BELAJAR SISWA PADA KONSEP SUHU DAN PERUBAHANNYA DI SMP NEGERI 3 PALU
• Pengembangan Komik Berbasis Ethnoscience sebagai Media Pembelajaran Fisika SMP Pokok Bahasan Kalor
• PENERAPAN PENDEKATAN CTL BERBASIS PENILAIAN KINERJA UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA SISWA SMK NEGERI 3 PALU
• Pengaruh Model Pembelajaran Problem Based Learning dalam Mengasah Kecerdasan Matematis-Logis terhadap Hasil Belajar pada Siswa Kelas XI SMA Negeri 5 Palu
• Penerapan Model Pembelajaran Interactive Engagement untuk Meningkatkan Hasil Belajar Fisika pada Siswa Kelas XI SMA Negeri 4 Palu
• Analisis Keterampilan Berpikir Kreatif Siswa Kelas X dalam Pokok Bahasan Dinamika Partikel
• PENERAPAN MODEL PEMBELAJARAN SAINS TEKNOLOGI MASYARAKAT MENGGUNAKAN METODE MAKE A MATCH UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA SISWA KELAS X SMA NEGERI 2 DOLO
• PENGARUH MODEL PEMBELAJARAN PREDICT,DISCUSS, EXPLAIN, OBSERVE, DISCUSS, EXPLAIN TERHADAP HASIL BELAJAR FISIKA SISWA KELAS X SMA NEGERI 5 PALU
• PENGARUH MODEL PEMBELAJARAN EXPERIENTIAL LEARNING TERHADAP PENINGKATAN HASIL BELAJAR IPA (FISIKA) PADA SISWA KELAS IX SMP NEGERI 1 MARAWOLA
• Efektivitas Penambahan Getah Pelepah Pisang Kepok (Musa mcuminata balbisianacolla) pada Pigmen Kunyit (Curcuma domestica valet) untuk Mengatasi Kelunturan Kain
• UJI KUALITAS MINYAK GORENG BERDASARKAN INDEKS BIAS CAHAYA MENGGUNAKAN ALAT REFRAKTOMETER SEDERHANA
• ANALISIS CITRA PERMUKAAN THERMOCHROMIC LIQUID CRYSTAL BERDASARKAN NILAI STATISTIK HUE
• STUDI KOMPARASI SIFAT FOTOKATALIS DAN AGLOMERITAS NANOPARTIKEL TIO2 SEBAGAI PENGARUH DISPERSANT ETILEN GLIKOL DAN TRITON X 100 DALAM DIRT-FREE PAINT
• SIFAT MEKANIK KAYU LAPIS DENGAN VARIASI LAPISAN PENGISI DARI IRATAN BAMBU (GIGANTOCHLOA APUS KURZ)
• ANALISIS POLA INTERFERENSI CELAH BANYAK UNTUK MENENTUKAN PANJANG GELOMBANG LASER He-Ne DAN LASER DIODA
• PENENTUAN PROFIL KETEBALAN SEDIMEN LINTASAN KOTA MAKASSAR DENGAN MIKROTREMOR
• PENENTUAN KOEFISIEN SERAP BUNYI PAPAN PARTIKEL DARI LIMBAH TONGKOL JAGUNG
• IDENTIFIKASI NILAI HAMBAT JENIS ARANG KAYU, ARANG KULIT MANGGA, DAN ARANG KULIT PISANG: BAHAN ALTERNATIF PENGGANTI RESISTOR FILM KARBON
• PEMILIHAN JENIS BULIR POLIMER SEBAGAI PENYANGGA MATERIAL FOTOKATALIS TIO2