PROSES LIFT OFF PADA PEMBUATAN DIVAIS SENSOR GAS CARBON MONOKSIDA (CO)
ABSTRAK: Tulisan ini
menjelaskan tahapan proses
pembuatan mikrodivais yang
akan digunakan sebagai platform
sensor gas CO
(karbon monoksida) berbasis
timah oksida (SnO2). Divais
yang dibuat telah
dirancang diatas substrat
silikon dengan daerah
aktif berukuran 3x3 mm2, dan terdiri dari bonding pad,
komponen pemanas (heater), elektroda, dan sensor temperatur. Lebar jalur
minimum adalah 50 mikron, sesuai dengan kemampuan proses fotolitografi yang
digunakan. Pembentukan struktur mikrodivais dilakukan terutama dengan menggunakan
teknik lift-off lapisan
platina (Pt) yang
dilapiskan menggunakan metode DC
sputtering dengan lapisan
alumunium (Al) sebagai
sacrificial layer, Dimensi chip
mikrodivais yang dihasilkan
berukuran 5 x
5 mm2. Pengujian yang
dilakukan untuk mengetahui karakteristik
resistansiterhadapsuhu dari mikrodivais
menunjukkan bahwa elemen pemanas
(heater) dan sensor
suhutelah berfungsi seperti
yang diharapkan, yaitu nilai resistansinya berubah secara
linear dengan kenaikan suhu substrat antara 20 – 200°C. Rentang kenaikan
nilai resistansi untuk
pemanas (heater) adalah
antara 500 –
1000 ohm, sedangkan untuk sensor
suhu antara 100 – 300 ohm.
Penulis: Slamet Widodo, Goib
Wiranto
Kode Jurnal: jpkimiadd140332
Artikel Terkait :
Jp Kimia dd 2014
- BEBERAPA PARAMETER KIMIA YANG MEMPENGARUHI PERTUMBUHAN RUMPUT LAUT MERAH KAPPAPHYCUS ALVAREZII (DOTY) DI PERAIRAN LEBIH-DALAM
- SINTESIS DAN KARAKTERISASI SENYAWA 3,3’-BENZILIDENA BIS- 4 – HIDROKSI KUMARIN UNTUK SEDIAAN RADIOTERAPI
- SYNTHESIS N-PHENYLAMINEDITHIOCARBAMATE AS CHELATING AGENT IN SOLVENT EXTRACTION
- PEMANFAATAN ASAP CAIR KAYU PUTIH (MALALEUCA CAJUPUTI) SEBAGAI ANTIOKSIDAN DALAM PENGOLAHAN IKAN TUNA ASAP
- SENYAWA HASIL ISOLASI DARI TUMBUHAN KI ENCOK (PLUMBAGO ZEYLANICA) YANG BERAKTIVITAS ANTIBAKTERI PENYAKIT MULUT DAN GIGI
- POTENSI TAUCO SEBAGAI PANGAN FUNGSIONAL
- POLA SEGREGASI PEWARISAN KARAKTER BUTIR KAPUR DAN KANDUNGAN AMILOSA BERAS PADA GENERASI F2 BEBERAPA HASIL PERSILANGAN PADI (ORYZA SATIVA L.)
- KARAKTERSITIK FISIKO-KIMIA DAN SENSORIK JUS EKSTRAK BUAH SALAK (SALACCA EDULIS REINW) VARIETAS BONGKOK
- IDENTIFIKASI POPULASI BAKTERI DALAM SPONS PENCUCI PIRING DENGAN METODE PCR-RFLP
- PENGARUH KECEPATAN PUTAR DEPOSISI TERHADAP STRUKTUR KRISTAL, KETEBALAN DAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS TIMBAL ZIRKONAT TITANAT (PZT) DENGAN METODE SPIN COATER
- PROSES DEPROTEINISASI KARET ALAM (DPNR) DARI LATEKS HEVEA BRASILIENSIS MUELL ARG. DENGAN CARA ENZIMATIK
- SINTESIS DAN KARAKTERISASI 1,4,7-TRIAZASIKLONONANA-1,4,7-ASAM TRIASETAT (NOTA) SEBAGAI LIGAN DALAM SENYAWA KOMPLEKS SEDIAAN RADIOTERAPI
- PEMBUATAN MEMBRAN SELULOSA ASETAT TERMODIFIKASI ZEOLIT ALAM LAMPUNG UNTUK PEMISAHAN ETANOL-AIR SECARA PERVAPORASI
- ANALISIS GLIKOSIDA KARDIOAKTIF DIGOKSIN MENGGUNAKAN ULTRA PERFORMANCE LIQUID CHROMATOGRAPHY (UPLC)
- GREEN SYNTHESIS OF ISOPULEGOL FROM CITRONELLAL CATALYSED BY ZEOLITE BASED SOLID ACID CATALYSTS
- EKSFOLIASI LAPISAN H2BABI2TI4O13 DAN UJI AKTIVITAS KATALITIKNYA PADA PEMBENTUKAN ETIL ASETAT
- UJI BIOINSEKTISIDA DAN FRAKSI NON-POLAR EKSTRAK KLOROFORM KULIT BATANG TUMBUHAN NYIRI BATU (Xylocarpus moluccensis)
- FITOKIMIA DAN UJI BIOINSEKTISIDA ISOLAT DARI EKSTRAK KULIT BATANG TUMBUHAN NYIRI BATU TERHADAP ULAT GRAYAK
- PENGARUH WAKTU FERMENTASI DAN KONSENTRASI BIBIT KEFIR TERHADAP MUTU KEFIR SUSU SAPI
- “ANGBI PENCASE” KOTAK PENSIL ANGRY BIRD BERBAHAN DASAR LIMBAH KERTAS
- PENENTUAN UKURAN CLUSTER NANOPARTIKEL EMAS MENGGUNAKAN MATRIK GLISERIN DENGAN INSTRUMEN ZETASIZER NANO
- SINTESIS DAN KARAKTERISASI PADATAN SILIKA-ALUMINA DENGAN VARIASI SUHU KALSINASI SEBAGAI PENDUKUNG KATALIS CAMPURAN OKSIDA LOGAM Cu/Zn
- MODELING HUBUNGAN KUANTITATIF STRUKTUR DAN AKTIVITAS (HKSA) PINOCEMBRIN DAN TURUNANNYA SEBAGAI ANTI KANKER
- KAJIAN TEORITIS UNTUK MENENTUKAN CELAH ENERGI KOMPLEKS 8-HIDROKSIQUINOLIN TERKONJUGASI LOGAM BESI DENGAN MENGGUNAKAN TEORI KERAPATAN FUNGSIONAL
- EFFECT OF TEMPERATURE AND pH ON SWEET POTATO STARCH RESIDUE FERMENTATION TO PRODUCE BIOHYDROGEN THROUGH DARK-FERMENTATION USING YEAST