DEPOSISI LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT ALUMINA UNTUK BAHAN SENSOR GAS

ABSTRAK: Telah dilakukan deposisi lapisan tipis ZnO:Al pada substrat alumina menggunakan teknik DC Sputtering untuk aplikasi sensor gas. Deposisi lapisan tipis ZnO:Al dilakukan dengan parameter proses sputtering tegangan elektroda DC sebesar 2.2 kV, arus 10 mA dan suhu substrat 250oC, waktu deposisi divariasi 30 - 150 menit dengan interval 30 menit dan tekanan divariasi masing-masing : 1  × 10-2 atm, 2 × 10-2   atm, 3  × 10-2   atm, 4  × 10-2 atm dan 5  × 10-2 atm.  Dari hasil karakterisasi diperoleh nilai  resistansi terendah  sebesar 64 kΩ diperoleh pada kondisi waktu deposisi 90 menit dan tekanan operasi 4  ×  10-2  atm. Hasil pengukuran sensitivitas menunjukkan bahwa sensor gas dari bahan ZnO:Al mempunyai sensitivitas tertinggi terhadap gas sensor C2H5OH sebesar 24%, untuk gas NH3 sebesar 19,77% dan untuk gas SO2 sebesar 17,53% pada 141,54 konsentrasi/volume.

Kata kunci: deposisi, sputtering, resistansi, sensor gas

Penulis: Sayono, Tjipto Sujitno

Kode Jurnal: jpkimiadd070121

Artikel Terkait :

Jp Kimia dd 2007

• CEMARAN PESTISIDA KLOR-ORGANIK DALAM AIR DANAU BUYAN BULELENG BALI
• ISOLASI DAN IDENTIFIKASI SENYAWA AKTIF LARVASIDA DARI BIJI MIMBA (Azadirachta indika A. Juss) TERHADAP LARVA NYAMUK DEMAM BERDARAH (Aedes aegypti)
• ISOLASI DAN IDENTIFIKASI SENYAWA ANTIMAKAN DARI BATANG TUMBUHAN BROTOWALI (Tinospora tuberculata BEUMEE.)
• PENENTUAN KUANTITATIF MORFIN DALAM URIN SECARA SPEKTROFOTODENSITOMETRI
• ISOLASI DAN IDENTIFIKASI SENYAWA TOKSIK PADA SPONS DARI PERAIRAN GILI SULAT-LOMBOK
• ISOLASI SENYAWA SITOTOKSIK DARI DAUN ANDONG (Cordyline terminalis Kunth)
• ANALISIS VARIASI NUKLEOTIDA DAERAH D-LOOP DNA MITOKONDRIA PADA SATU INDIVIDU SUKU BALI NORMAL
• PENENTUAN pH OPTIMUM ISOLASI KARAGINAN DARI RUMPUT LAUT JENIS Eucheuma cottonii
• KARAKTERISTIK ARUS DAN POTENSIAL KATODIK PADA PERLINDUNGAN SISTEM ARUS TERPASANG TERHADAP STAINLESS STEEL TYPE 304 DI LINGKUNGAN AIR LAUT
• KARAKTERISASI TOXOPLASMA GONDII ISOLAT INDONESIA
• DEPOSISI LAPISAN TIPIS (CdS) TIPE-N DI ATAS LAPISAN TIPIS (CuInSe2) TIPE-P SEBAGAI PENYANGGA UNTUK SEL SURYA CIS
• UJI FUNGSI SISTEM NITRIDASI ION UNTUK PERLAKUAN PERMUKAAN
• DESAIN KOLIMATOR TIPE TABUNG UNTUK PENYEDIAAN BERKAS RADIOGRAFI DENGAN SUMBER GENERATOR NETRON
• PRINSIP DASAR TEKNOLOGI OKSIDASI MAJU: TEKNOLOGI HIBRIDA OZON DENGAN TITANIA
• EVALUASI DAN PERKEMBANGAN PEMBUATAN BAHAN BAKAR KERNEL UO2 DI PTAPB-BATAN YOGYAKARTA
• KAJIAN KINETIKA KIMIA MODEL MATEMATIK REDUKSI KADMIUM MELALUI LAJU REAKSI, KONSTANTE DAN ORDE REAKSI DALAM PROSES ELEKTROKIMIA
• PENGARUH OZONISASI TERHADAP DO, BOD DAN PERTUMBUHAN BAKTERI DI DALAM LIMBAH CAIR INDUSTRI PENYAMAKAN KULIT
• PENGARUH PENGGUNAAN OKSIDAN OZON DALAM PENGEMAS PLASTIK POLIETILEN UNTUK MENYIMPAN BUAH APEL MANALAGI (malus sylvestris M)
• PENGARUH HNO3 DAN TINGKAT EKSTRAKSI PADA PENINGKATAN Ce DALAM KONSENTRAT CERI HIDROKSIDA MEMAKAI TBP
• PENYELESAIAN SOLITON PADA PERSAMAAN GELOMBANG
• PERBAIKAN KUALITAS MINYAK SAWIT SEBAGAI BAHAN BAKU SABUN MELALUI PROSES PEMUCATAN DENGAN OKSIDASI
• TRANSPOR ION TEMBAGA (II) MELALUI TEKNIK MEMBRAN CAIR FASA RUAH
• PEMBUATAN PRECIPITATEDCALCIUMCARBONATE(PCC) DARI BATU KAPUR DENGAN METODA KAUSTIK SODA
• FILTRASI AIR RAWA GAMBUT DENGAN PADUAN PERLIT-SEMEN-KAPUR