LAPISAN TIPIS ZnO SUSUNAN LARIK SEBAGAI SENSOR GAS

ABSTRAK: Telah dibuat sensor gas dari bahan lapisan tipis ZnO dengan sistem larik menggunakan teknik D-C sputtering.  Tujuan dari pembuatan sistem larik ini adalah untuk menyederhanakan sistem, memperkecil konsumsi daya dan untuk memperkecil tahanan lapisan tipis yang terbentuk. Untuk maksud tersebut sistem pemanas dibuat dari lapisan tipis emas dengan sistem larik dan ditumbuhkan pada salah satu sisi substrat alumina (Al2O3), sedangkan sistem elektroda dari lapisan tipis emas juga dalam bentuk sistem larik ditumbuhkan pada sisi yang lainnya.  Selanjutnya lapisan tipis ZnO ditumbuhkan di atas elektroda menggunakan  teknik sputtering.  Dari hasil pengujian sistem pemanas dari tegangan baterai 1,5 volt  hingga 9 volt diperoleh hasil temperatur sebesar 295 0C yang merupakan temperatur operasi sensor dicapai pada tegangan 4,5 volt, sedangkan untuk tegangan pemanas 9 volt, lapisan tipis pemanas mengelupas (rusak). Dari pengujian respon sensor untuk berbagai gas uji juga diperoleh hasil bahwa dengan sistem larik ternyata resistansinya juga semakin kecil, sebagai contoh resistansi untuk sistem satu larik sebesar 150 MΩ sedangkan resistansi untuk sistem 3 larik sebesar 39 MΩ. Berdasar uji sensitivitas sensor juga diperoleh hasil bahwa dengan jumlah larik yang lebih banyak ternyata sensor lebih sensitif. Dari hasil analisis struktur mikro menggunakan SEM teramati bahwa lapisan tipis ZnO yang terbentuk terdistribuasi secara merata pada permukaan substrat sedang ketebalan lapisan tipis dalam order 1,4 µm. Dari analisa unsur menggunakan EDX teramati bahwa lapisan yang terbentuk betul-betul senyawa ZnO dengan komposisi Zn = 80, 34 % massa dan O = 19,66 % massa. Dari analisa struktur kristal menggunakan XRD teramati bahwa lapisan tipis ZnO yang terbentuk merupakan polikristal dengan bidang-bidang  kristal (110), (022), (101), (141), (211), (002)  dan (301)

Kata kunci: sensor gas ZnO, sistem larik, struktur mikro, SEM, EDX, XRD

Penulis: Tjipto Sujitno, Trimardji Atmono, Sayono, Lely Susita RM

Kode Jurnal: jpkimiadd060095

Artikel Terkait :

Jp Kimia dd 2006

• RANCANGAN SISTEM PENYEMPROT PLASMA UNTUK PEMBUATAN SEL BAHAN BAKAR OKSIDA PADAT: STUDI PEMANASAN PARTIKEL YSZ DALAM PLASMA JET
• KARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS a-Si:H:B UNTUK BAHAN SEL SURYA
• PEMBUATAN LAPISAN TIPIS SnO2 DENGAN METODE SPUTTERING DC UNTUK SENSOR GAS CO
• APLIKASI MESIN BERKAS ELEKTRON UNTUK PENGOLAHAN GAS BUANG
• PEMISAHAN Ce DAN Nd MENGGUNAKAN RESIN DOWEX 50W-X8 MELALUI PROSES PERTUKARAN ION
• PENENTUAN KADAR Cu, Fe, Zn DALAM TANAH, TANAMAN TEH, DAUN TEH DAN MINUMAN TEH
• KAJIAN PENGGUNAAN OKSIDAN OZON PADA PENGOLAHAN LIMBAH CAIR INDUSTRI UDANG
• STUDI OPERASI RESIN PENUKAR ION DALAM SISTEM PURIFIKASI AIR PRIMER PWR
• PEMANFAATAN BITTERN SEBAGAI KOAGULAN PADA LIMBAH CAIR INDUSTRI KERTAS
• KAJIAN INSTALASI PENGOLAHAN AIR LIMBAH INDUSTRI ELEKTROPLATING YANG EFISIEN
• KAJIAN PENGARUH FOULING PADA PEMURNIAN NIRA TEBU
• PENENTUAN KOEFISIEN PERPINDAHAN MASSA LIQUID SOLID DALAM KOLOM PACKED BED DENGAN METODE ADSORPSI
• BIODIESEL DARI MINYAK BIJI KAPUK DENGAN KATALIS ZEOLIT
• SIMULASI PEMISAHAN SISTEM BINER DENGAN DISTILASI BATCH SEDERHANA
• Evaluasi Lempeng HPTLC Daur Ulang untuk Analisis Kualitatif dan Kuantitatif
• Pengaruh Kadar Pektat, Hemiselulosa, Lignin, dan Selulosa Terhadap Persentase Fe terikat oleh Makromolekul Serat Pangan: Variasi pH dan Lama Perebusan
• Komposisi dan Kandungan Pigmen Tumbuhan Pewarna Alami Tenun Ikat di Kabupaten Timor Tengah Selatan, Propinsi Nusa Tenggara Timur
• Fraksinasi Asam Lemak Omega 3,6 dan 9 dari Daging Bekicot (Achatina fulica) Menggunakan Kolom Kromatografi
• Isolasi dan Identifikasi Senyawa Flavonoid dari Kulit Batang Tumbuhan Saccopetalum horsfieldii Benn
• Balanokarpol dan Ampelopsin H, Dua Oligoresveratrol dari Kulit Batang Hopea odorata (Dipterocarpaceae)
• Konversi Satu Tahap Eugenol Menjadi Metil Isoeugenol dengan Iradiasi Gelombang Mikro pada Kondisi Bebas Pelarut
• Sintesis 1,3-Dimetil-6,7-dimetoksi-3,4-dihidro Isoquinolina dari Metileugenol: Penerapan Reaksi Ritter dalam Siklisasi secara Langsung
• Sintesis dan Karakterisasi Kompleks Triaquatrisulfisoksazolkobalt (ii)sulfat.nhidrat
• Kajian Pengaruh Konsentrasi Katalis Nb2O5-ZAA terhadap Konversi Biodiesel Total Pada Transesterifikasi Minyak Goreng Bekas