PEMBUATAN LAPISAN TIPIS SnO2 DENGAN METODE SPUTTERING DC UNTUK SENSOR GAS CO

ABSTRAK: Telah dilakukan pembuatan lapisan tipis SnO2 dengan metode sputtering DC untuk gas CO. Pembuatan lapisan tipis SnO2  dilakukan dengan parameter sputtering pada tegangan elektroda 2 kV, arus 10 mA, tekanan vakum 5 × 10-2 torr, waktu deposisi 30 menit, 60 menit dan 120 menit pada suhu substrat 250 0C,  sedangkan gas sputtering adalah gas argon. Hasil eksperimen menunjukkan bahwa lapisan tipis SnO2 yang dideposisi dengan parameter sputtering : tegangan 2 kV, arus 10 mA, tekanan 5 × 10-2 Torr, waktu 120 menit dan suhu 250 °C mempunyai sensitivitas optimun 23 % untuk mendeteksi gas CO pada konsentrasi 106,25 ppm. Kemudian dari hasil analisis unsur lapisan SnO2 pada kondisi optimum menggunakan SEM–EDS diperoleh Sn sebesar 31,73%, O sebesar 67,37 % atom.

Kata Kunci: Sputtering, lapisan tipis SnO2, Sensitivitas dan sensor gas

Penulis: Sayono, Suprapto, Sunardi

Kode Jurnal: jpkimiadd060096

Artikel Terkait :

Jp Kimia dd 2006

• RANCANGAN SISTEM PENYEMPROT PLASMA UNTUK PEMBUATAN SEL BAHAN BAKAR OKSIDA PADAT: STUDI PEMANASAN PARTIKEL YSZ DALAM PLASMA JET
• KARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS a-Si:H:B UNTUK BAHAN SEL SURYA
• LAPISAN TIPIS ZnO SUSUNAN LARIK SEBAGAI SENSOR GAS
• APLIKASI MESIN BERKAS ELEKTRON UNTUK PENGOLAHAN GAS BUANG
• PEMISAHAN Ce DAN Nd MENGGUNAKAN RESIN DOWEX 50W-X8 MELALUI PROSES PERTUKARAN ION
• PENENTUAN KADAR Cu, Fe, Zn DALAM TANAH, TANAMAN TEH, DAUN TEH DAN MINUMAN TEH
• KAJIAN PENGGUNAAN OKSIDAN OZON PADA PENGOLAHAN LIMBAH CAIR INDUSTRI UDANG
• STUDI OPERASI RESIN PENUKAR ION DALAM SISTEM PURIFIKASI AIR PRIMER PWR
• PEMANFAATAN BITTERN SEBAGAI KOAGULAN PADA LIMBAH CAIR INDUSTRI KERTAS
• KAJIAN INSTALASI PENGOLAHAN AIR LIMBAH INDUSTRI ELEKTROPLATING YANG EFISIEN
• KAJIAN PENGARUH FOULING PADA PEMURNIAN NIRA TEBU
• PENENTUAN KOEFISIEN PERPINDAHAN MASSA LIQUID SOLID DALAM KOLOM PACKED BED DENGAN METODE ADSORPSI
• BIODIESEL DARI MINYAK BIJI KAPUK DENGAN KATALIS ZEOLIT
• SIMULASI PEMISAHAN SISTEM BINER DENGAN DISTILASI BATCH SEDERHANA
• Evaluasi Lempeng HPTLC Daur Ulang untuk Analisis Kualitatif dan Kuantitatif
• Pengaruh Kadar Pektat, Hemiselulosa, Lignin, dan Selulosa Terhadap Persentase Fe terikat oleh Makromolekul Serat Pangan: Variasi pH dan Lama Perebusan
• Komposisi dan Kandungan Pigmen Tumbuhan Pewarna Alami Tenun Ikat di Kabupaten Timor Tengah Selatan, Propinsi Nusa Tenggara Timur
• Fraksinasi Asam Lemak Omega 3,6 dan 9 dari Daging Bekicot (Achatina fulica) Menggunakan Kolom Kromatografi
• Isolasi dan Identifikasi Senyawa Flavonoid dari Kulit Batang Tumbuhan Saccopetalum horsfieldii Benn
• Balanokarpol dan Ampelopsin H, Dua Oligoresveratrol dari Kulit Batang Hopea odorata (Dipterocarpaceae)
• Konversi Satu Tahap Eugenol Menjadi Metil Isoeugenol dengan Iradiasi Gelombang Mikro pada Kondisi Bebas Pelarut
• Sintesis 1,3-Dimetil-6,7-dimetoksi-3,4-dihidro Isoquinolina dari Metileugenol: Penerapan Reaksi Ritter dalam Siklisasi secara Langsung
• Sintesis dan Karakterisasi Kompleks Triaquatrisulfisoksazolkobalt (ii)sulfat.nhidrat
• Kajian Pengaruh Konsentrasi Katalis Nb2O5-ZAA terhadap Konversi Biodiesel Total Pada Transesterifikasi Minyak Goreng Bekas