PENGARUH KONSENTRASI BORON TERHADAP SIFAT LISTRIK LAPISAN TIPIS (a-Si:H:B)

ABSTRAK: Telah dilakukan deposisi bahan Si:B pada permukaan substrat kaca dengan teknik plasma sputtering DC.  Deposisi dilakukan untuk beberapa parameter proses yang meliputi: waktu  deposisi, tekanan gas  dan  suhu  substrat  dengan  tujuan  dapat  diperoleh lapisan tipis (a-Si:H:B) yang mempunyai konduktivitas yang memadai sebagai bahan sel surya.   Target adalah bahan silikon yang telah dicampur boron dengan konsentrasi (0,1; 0,3; 0,5; 0,7) % berat.  Variasi waktu deposisi adalah (0,5 - 2) jam, tekanan gas (1,1 × 10-1 - 1,4 × 10-1) Torr dan suhu substrat (150–300) oC, sedangkan gas reaktif hidrogen selama proses deposisi dibuat tetap sebesar 4 sccm.  Pengukuran sifat listrik dilakukan dengan probe empat titik, konduktivitas dihitung dengan pendekatan rumus matematik.  Hasil penelitian menunjukkan bahwa resistansi terkecil sebesar R = 2,73 × 108 Ω, ini diperoleh pada kondisi percobaan, waktu deposisi 1,5 jam, tekanan gas 1,4 × 10-1 Torr dan suhu substrat 200 oC.  Dengan demikian dapat disimpulkan bahwa parameter proses di atas merupakan parameter deposisi yang optimum untuk pembuatan lapisan tipis (a-Si:H:B).

Penulis: Bambang Siswanto, Wirjoadi, Sudjatmoko

Kode Jurnal: jpkimiadd050060

Artikel Terkait :

Jp Kimia dd 2005

• SIMULASI PERJALANAN AMPLOP BERKAS AKSELERATOR ION ENERGI MEDIUM
• KAJIAN SIFAT BAHAN LAPISAN TIPIS FEROMAGNETIK NixFe1-x HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK EVAPORASI HAMPA
• ANALISIS KESELAMATAN REAKTOR KARTINI BERDASAR KEJADIAN PEMICU YANG DIPOSTULASIKAN
• PROGRAM KOMPUTER UNTUK MENGHITUNG AKTIVITAS CUPLIKAN SISTEM PENCACAH KAMAR PENGION MERLIN GERIN
• KAJIAN SIFAT SERAP MINERAL MAGNETIT TERHADAP LIMBAH RADIOAKTIF URANIUM CAIR FASE AIR YANG DIGUNAKAN SEBAGAI BAHAN URUG
• KAJIAN PEMANFAATAN SLUDGE IPAL KOTA JOGJAKARTA SEBAGAI PUPUK ORGANIK YANG RAMAH LINGKUNGAN
• PEMBUATAN ZIRKON TETRAKLORIDA DARI PASIR ZIRKON DENGAN PROSES KERING SECARA LANGSUNG
• EVALUASI KADAR LOGAM BERAT DAN PESTISIDA PADA SAMPEL AIR SUNGAI BRIBIN GUNUNG KIDUL FUNGSI WAKTU DAN LOKASI SAMPLING (BAGIAN I)
• SEBARAN LOGAM BERAT DALAM IKAN, ALGAE, AIR DAN SEDIMEN LAUT DI SEMENANJUNG LEMAHABANG MURIA
• Penggunaan Abu Layang dan Zeolit sebagai Bahan Urug pada Penyimpanan Limbah Radioaktif
• Ekstraksi Tembaga secara Elektrolitik Menggunakan Campuran Padatan CuFeS2 dan CaCO3 (Chalcopyca) sebagai Anoda
• Penentuan Nitrit sebagai Zat Warna 4-(4-Nitrobenzenazo)-1-aminonaftalen dengan Membran Optik Berbasis PVC-DOS
• Uji Aktivitas dan Regenerasi Katalis NiMo/Z pada Reaksi Hidrorengkah Fraksi Sampah Plastik Menjadi Fraksi Bensin
• Hubungan Kuantitatif Struktur Aktivitas Senyawa Vinkadiformina Sebagai Senyawa Antimalaria Jenis Sensitif Khlorokuin
• Produksi Skualen Murni Secara Sinambung Menggunakan Kromatografi Kolom
• Ketersediaan Fe In Vitro dan Pola Adsorpsi pada Kombinasi Derajat Keasaman dan Lama Perebusan Kacang Panjang
• Pengaruh Suhu Ekstraksi Terhadap Rendement Dan Kadar Metoksil Pektin Dari Eceng Gondo (Eichornia crassipes (Mart Solms)
• Karakterisasi Karboksimetil Selulosa (CMC) dari Eceng Gondok (Eichornia crassipes (Mart) Solms)
• Mikroba Termofil Penghasil Dekstranase dari Nira Panas
• Pemanfaatan Furfural dari Limbah Pabrik Gula (Ampas Tebu) Untuk Sintesis Asam-β-(2-furil) Akrilat Sebagai Bahan Dasar Alternatif Senyawa Tabir Surya
• LUNULARIN AND OXYRESVERATROL: TWO STILBENE DERIVATIVES FROM Morus macroura
• Reaksi Substitusi Nukleofilik Ion Sianida dan Metoksida Terhadap Basa Mannich Kuarterner dari Vanilin
• Sintesis Analog L-α-metil-Dopa dari Eugenol
• Sintesis p-Metoksisinamil p-Metoksisinamat dari Etil p-Metoksisinamat Hasil Isolasi Rimpang Kencur (Kaempferia galanga L) sebagai Kandidat Tabir Surya