SIFAT OPTIK, STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO

ABSTRAK: Telah dilakukan karakterisasi sifat optik, struktur kristal dan struktur mikro lapisan tipis ZnO:Al hasil deposisi pada substrat kaca sebagai bahan Transparent Conducting Oxide (TCO) untuk sel surya dengan metode DC sputtering.   Penelitian ini bertujuan untuk memperoleh hasil lapisan tipis ZnO:Al yang dapat digunakan sebagai bahan TCO untuk sel surya.  Parameter sputtering optimum diperoleh pada kondisi suhu substrat 450 oC, tekanan gas 6 x 10-2 torr dan waktu deposisi  1,5  jam.  Sifat optik (transmitansi) lapisan tipis  ZnO  dan  ZnO:Al  masing-masing (62 - 80) % dan (20 - 68) % pada posisi panjang gelombang (400 - 800) nm.  Struktur kristal lapisan tipis ZnO dan ZnO:Al terorientasi pada bidang (002) masing-masing dengan sudut hamburan 2θ  = 34,810o  dan 34,715o atau terorientasi pada arah sumbu-c yang tegak lurus pada permukaan substrat.  Hasil pengamatan struktur  mikro dengan SEM, menunjukkan bahwa morfologi permukaan berbentuk butiran-butiran kecil yang terdistribusi cukup homogen dan mempunyai ketebalan sekitar 1,5 µm untuk lapisan tipis ZnO, sedangkan untuk lapisan tipis ZnO:Al ketebalannya sekitar 1,0 µm.
Penulis: Wirjoadi, Bambang Siswanto
Kode Jurnal: jpkimiadd080187

Artikel Terkait :

Jp Kimia dd 2008