PENGARUH KECEPATAN PUTAR DEPOSISI TERHADAP STRUKTUR KRISTAL, KETEBALAN DAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS TIMBAL ZIRKONAT TITANAT (PZT) DENGAN METODE SPIN COATER
ABSTRAK: Telah dilakukan
penelitian pengaruh kecepatan putar terhadap struktur kristal, morfologi,
ketebalan dan ukuran butir lapisan tipis PZT. Teknik pelapisan PZT dilakukan
dengan spin coating dengan variasi kecepatan putar 2000, 3000 dan 4000 rpm.
Kualitas kristal lapisan tipis PZT yang dihasilkan dikarakterisasi dengan XRD
dan morfologi serta tampang lintang diobservasi dengan pencitraan SEM. Hasil
karakterisasi menunjukkan puncak-puncak yang muncul adalah kristal perovskit
dengan orientasi bidang kristal (001), (100), (101), (110), (200), (201) &
(210), dan (022). Semakin tinggi kecepatan putar makaketebalanlapisan PZT
semakin tipis dan berpengaruh terhadap intensitas orientasi bidang kristal yang
semakin menurun, serta morfologi permukaan semakin halus, rata dan homogen.
Ketebalan pada kecepatan putar 2000, 3000 dan 4000 rpm berturut-turut 13,82;
12,66 dan 10,84 μm serta ukuran butir untuk masing-masing kecepatan putar
sekitar 0,6429; 0,6851 dan 0,4237 μm. Hal ini dikarenakan semakin tinggi
kecepatan putar mengakibatkan gaya sentrifugal semakin besar sehingga gel PZT
terdistribusi secara merata dan homogen di atas permukaan substrat.
Penulis: Johnson Nune Naat,
Rachmat Triandi Tjahjanto, Masruroh
Koder Jurnal: jpkimiadd140901
