Identifikasi Gugus SiHx (x=1,2 dan 3) pada Silikon Berpori dari Substrat Si (111) Tipe-P
Abstract: Telah dilakukan identifikasi gugus fungsional
SiHx (x = 1, 2, 3) pada silikon berpori Si (111) type p dengan menggunakan
spektrofotometer Fourier Transform Infared (FTIR). Sample dibuat dengan cara anodisasi wafer
silikon dalam larutan asam hidroflour (HF) dengan resistivitas substrat 0,3
ohm-cm. Pengaruh konsentrasi larutan HF dan waktu anodisasi terhadap gugus
fungsional permukaan silikon berpori kemudian dievaluasi. Konsentrasi larutan
HF divariasikan pada 10% , 20%,
30%,dan 40%, dan waktu anodisasi
divariasikan pada 10, 20, 40, dan 60 menit untuk tiap konsentrasi. Selama
proses anodisasi digunakan magnetik stirer untuk menjaga homogenitas larutan.
Hasil FTIR menunjukan gugus SiH
ditemukan pada daerah serapan 2112-2100 cm-1, 920-890 cm-1 dan 856 cm-1 untuk
semua konsentrasi HF. Sementara semakin lama waktu anodisasi semakin berkurang
gugus SiH yang terbentuk. Mekanisme ini dapat digunakan untuk mengontrol
pembentukan pori dalam wafer silikon.
Penulis: Anas M., I. N.
Sudiana, Jahiding M.
Kode Jurnal: jpfisikadd140903
Artikel Terkait :
Jp Fisika dd 2014
- PENGGUNAAN MODEL PEMBELAJARAN AKTIF TIPE KELOMPOK DISKUSI DALAM MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA SISWA KELAS X SMA LABSCHOOL UNTAD PALU
- PENERAPAN MODEL PEMBELAJARAN NOVICK UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA SISWA KELAS X SMA NEGERI 1 SOJOL
- PENERAPAN MODEL PEMBELAJARAN CHILDREN LEARNING IN SCIENCE (CLIS) UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA PADA SISWA KELAS XI SMA NEGERI 8 PALU
- PERBANDINGAN HASIL BELAJAR FISIKA ANTARA MODEL PEMBELAJARAN SELF REGULATED LEARNING (SRL) DENGAN MODEL PEMBELAJARAN PROBLEM BASED LEARNING (PBL) PADA SISWA KELAS XI SMA NEGERI 4 PALU
- PENERAPAN PENDEKATAN SAVI UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA PADA SISWA KELAS XI SMA NEGERI 8 PALU
- Analisis Kemampuan Siswa Mengubah Representasi dalam Physics Problem Solving Pada Siswa SMA Kelas X
- PENGARUH PEMBELAJARAN INKUIRI ROLE APPROACH TERHADAP HASIL BELAJAR SISWA PADA KONSEP SUHU DAN PERUBAHANNYA DI SMP NEGERI 3 PALU
- Pengembangan Komik Berbasis Ethnoscience sebagai Media Pembelajaran Fisika SMP Pokok Bahasan Kalor
- PENERAPAN PENDEKATAN CTL BERBASIS PENILAIAN KINERJA UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA SISWA SMK NEGERI 3 PALU
- Pengaruh Model Pembelajaran Problem Based Learning dalam Mengasah Kecerdasan Matematis-Logis terhadap Hasil Belajar pada Siswa Kelas XI SMA Negeri 5 Palu
- Penerapan Model Pembelajaran Interactive Engagement untuk Meningkatkan Hasil Belajar Fisika pada Siswa Kelas XI SMA Negeri 4 Palu
- Analisis Keterampilan Berpikir Kreatif Siswa Kelas X dalam Pokok Bahasan Dinamika Partikel
- PENERAPAN MODEL PEMBELAJARAN SAINS TEKNOLOGI MASYARAKAT MENGGUNAKAN METODE MAKE A MATCH UNTUK MENINGKATKAN HASIL BELAJAR FISIKA SISWA KELAS X SMA NEGERI 2 DOLO
- PENGARUH MODEL PEMBELAJARAN PREDICT,DISCUSS, EXPLAIN, OBSERVE, DISCUSS, EXPLAIN TERHADAP HASIL BELAJAR FISIKA SISWA KELAS X SMA NEGERI 5 PALU
- PENGARUH MODEL PEMBELAJARAN EXPERIENTIAL LEARNING TERHADAP PENINGKATAN HASIL BELAJAR IPA (FISIKA) PADA SISWA KELAS IX SMP NEGERI 1 MARAWOLA
- Efektivitas Penambahan Getah Pelepah Pisang Kepok (Musa mcuminata balbisianacolla) pada Pigmen Kunyit (Curcuma domestica valet) untuk Mengatasi Kelunturan Kain
- UJI KUALITAS MINYAK GORENG BERDASARKAN INDEKS BIAS CAHAYA MENGGUNAKAN ALAT REFRAKTOMETER SEDERHANA
- ANALISIS CITRA PERMUKAAN THERMOCHROMIC LIQUID CRYSTAL BERDASARKAN NILAI STATISTIK HUE
- STUDI KOMPARASI SIFAT FOTOKATALIS DAN AGLOMERITAS NANOPARTIKEL TIO2 SEBAGAI PENGARUH DISPERSANT ETILEN GLIKOL DAN TRITON X 100 DALAM DIRT-FREE PAINT
- SIFAT MEKANIK KAYU LAPIS DENGAN VARIASI LAPISAN PENGISI DARI IRATAN BAMBU (GIGANTOCHLOA APUS KURZ)
- ANALISIS POLA INTERFERENSI CELAH BANYAK UNTUK MENENTUKAN PANJANG GELOMBANG LASER He-Ne DAN LASER DIODA
- PENENTUAN PROFIL KETEBALAN SEDIMEN LINTASAN KOTA MAKASSAR DENGAN MIKROTREMOR
- PENENTUAN KOEFISIEN SERAP BUNYI PAPAN PARTIKEL DARI LIMBAH TONGKOL JAGUNG
- IDENTIFIKASI NILAI HAMBAT JENIS ARANG KAYU, ARANG KULIT MANGGA, DAN ARANG KULIT PISANG: BAHAN ALTERNATIF PENGGANTI RESISTOR FILM KARBON
- PEMILIHAN JENIS BULIR POLIMER SEBAGAI PENYANGGA MATERIAL FOTOKATALIS TIO2